シリコンウエハー販売

シリコンウエハー(Si wafer)の販売 >>

2インチ(50mm)から12インチ(300mm)までの各種モニターウエハー、ダミーウエハーを
お客様のご利用用途やご要望に合わせてご提供いたします。
自社協力工場製品と国内大手メーカー製品の充実の製品で、
スタンダード品から低コスト・特殊仕様品まで
各ユーザー様のご利用目的やプランニングに最適なウエハーをご提供させて頂きます。

汎用品のほかSOIウエハー・成膜ウエハーやその他の特殊ウエハーも、
在庫製品の販売とBTOによるカスタム製造で、
ご要望に合わせた確かな品質のウエハーの供給を実現いたします。

シリコンウエハー(Si wafer) シリコンウエハー(Siウエハー) シリコンウエハー(S.E.H)

シリコンウエハー製品紹介

シリコンウエハー スタンダード品(JEITA仕様) 成膜ウエハー(膜付加工品)
シリコンウエハー スタンダード品(SEMI 仕様) SOIウエハー
シリコンウエハー(ダミーグレード品) その他のウエハー製品・実績一例(薄厚、特殊品など)


※参考イメージのため実際の製品とは一部異なります


製品ラインアップ①

  シリコンウエハー(JEITA規格スタンダード製品) >>

シリコンウエハー(Si wafer_Jeita_Std)様々な用途にご利用いただけるパーティクル管理された
JEITA規格準拠のシリコンウエハー(Si wafer)です。
開発や実験・研究、パーティクルチェックや測定検査など、
幅広くご使用頂いている汎用製品です。
TTVやパーティクルレベルがよりハイグレードの製品や、
厚みや抵抗値が規格外の製品、SEMI規格に準拠した製品もございます。

シリコンウエハー外観参考図(クリックで拡大)
ウエハー外観(ウエハー外形参考図)

製品仕様(JEITA スタンダード仕様)
項 目: Unit 仕 様
サ イ ズ: inch 2 3 4 5 6 8 12
タ イ プ: - P or N
*1結 晶 方 位: - <100> / <111> / <110>
厚 み: μm 280 380 525 625 625 725 775
厚 み 公 差: μm 20 20 25 25 25 25 25
抵 抗 値: Ω・㎝ 1-30 / 1-50 / 1-100
*2オ リ フ ラ: - ノッチ ノッチ
パ ー テ ィ ク ル: Lv ≧0.3μm≦10ea / ≧0.2μm≦30ea / ≧0.2μm≦50ea
面 状 態: - 片面ミラー 両面ミラー
*3数 量: lot 25枚
梱 包 形 態: - ラミネート
 
備 考: *1 : <110>は別途お問合せください.
*2 : 8インチはオリフラ/ノッチいずれも対応可能です.
*3 : ロット状況により5枚や10枚など端数Lotでのご注文もお受けしております.
** : 詳細仕様や在庫状況はこちらでご確認頂けます. ⇒ 在庫状況確認

製品ラインアップ②

シリコンウエハー(SEMI規格スタンダード製品) >>

シリコンウエハー(si wafer_Semi_Std)様々な用途にご利用いただけるパーティクル管理されたSEMI規格準拠の
高品質シリコンウエハー(Si wafer)です。
*
おもにSEMI規格品をご要望のお客様向けの製品です。
シリコンウエハーSEMI/JEITA規格表はこちら


シリコンウエハー外観参考図(クリックで拡大)
ウエハー外観(ウエハー外形参考図)

製品仕様(SEMI準拠仕様)
項 目: Unit 仕 様
サ イ ズ: inch 2 3 4 6
タ イ プ: - P or N
結 晶 方 位: - <100>
厚 み: μm 280 380 525 675
厚 み 公 差: μm 20 20 25 25
抵 抗 値: Ω・㎝ 1-100
オ リ フ ラ: mm 15.8±2.5 22.0±2.5 32.5±2.5 57.5±2.5
パ ー テ ィ ク ル: Lv ≧0.3μm≦10ea / ≧0.5μm ≦10ea
面 状 態: - 片面ミラー
*1数 量: lot 25枚
梱 包 形 態: - ラミネート
 
備 考: *1: ロット状況により5枚や10枚など端数Lotでのご注文もお受けしております.
    **: 詳細仕様や在庫状況はこちらでご確認頂けます. ⇒ 在庫状況確認

製品ラインアップ③

シリコンウエハー(ダミーグレード製品) >>

ダミーウエハーパーティクル管理されていない安価なシリコンウエハーです。
主に半導体製造装置の搬送テストやメカニカル評価、
ダイシングなどの加工評価用にご利用頂けます。
在庫状況にかかわらず小ロット(5枚~)でのご提供が可能です。
厚みなどを不問としたさらにコストを抑えた製品もございます。


ダミーウエハー製品仕様
項 目: Unit 仕 様
サ イ ズ: inch 2 3 4 5 6 8 12
タ イ プ: - P or N
結 晶 方 位: - <100> / <111> / 不問
厚 み: μm 280 380 525 625 625 725 775
厚 み 公 差: μm 20 20 25 25 25 25 25
抵 抗 値: Ω・㎝ -
*1オ リ フ ラ: - ノッチ ノッチ
パ ー テ ィ ク ル: Lv -
面 状 態: - 片面ミラー 両面ミラー
*2数 量: lot 25枚
*3梱 包 形 態: - コインロール(重ね合わせ)
 
備 考:    *1 : 8インチはオリフラ/ノッチいずれも対応可能です.
*2 : 5枚や10枚など端数Lotでのご注文もお受けしております.
*3 : ケースをご要望のお客様は別途お申し付けください.
** : 在庫状況はこちらでご確認頂けます. ⇒ 在庫状況確認

製品ラインアップ④

成膜(膜付)ウエハー >>

成膜ウエハー通常のシリコンウエハー上に成膜加工されたウエハーです。
熱酸化膜(SiO2)をはじめとする絶縁膜から、
Al・Mnなどの導電膜やCu・Niなどの金属、メッキ膜製品もございます。
単層膜・複層膜のご指定や、成膜方法をご指定頂くことも可能です。
新規製造やウエハーをお預かりしての加工もお受けしております。

成膜ウエハー製品仕様 / 加工製造対応表
項 目: Unit 仕 様
サ イ ズ: inch 2 3 4 5 6 8 12
タ イ プ: - P or N
結 晶 方 位: - <100> / <111> / <110>
*1厚 み: μm 280 380 525 625 625 725 775
厚 み 公 差: μm 20 20 25 25 25 25 25
抵 抗 値: Ω・㎝ ≒0.001-10000
オ リ フ ラ: - ノッチ ノッチ
パ ー テ ィ ク ル: Lv ≧0.3μm≦10ea / ≧0.2μm≦20ea / ≧0.2μm≦50ea
面 状 態: - 片面ミラー / 両面ミラー 両面ミラー
成 膜 方 法: -  Thermal / Spatter / CVD / PE-CVD / LP-CVD / EP
 膜 種: - 各 種
*2膜 厚: A 1000-10000
*3数 量: lot 25枚
梱 包 形 態: - ラミネート
 
備 考: *1 : 上記(標準厚)以外の厚みについては別途ご相談ください.
*2 : 膜種により上記以外の厚みも可能です. 
*3 : ロット状況により5枚や10枚など端数Lotでのご注文もお受けしております.
 成膜対応表(新規製造品を含みます) 
絶 縁 膜 SiO2 、SiN 、PSG 、BPSG 、P-TEOS 、HDP-SiO2 、O3-TEOS 、SiON 、SiOC 、MSQ 、HSQ 、BN 、CoralTM 、BD-TM 、HfO2 、TiO2 、Ta2O5 、ZnO2 、Al2O3 、Fe2O3 、MgO 、Mn2O3 など
導 電 膜 Al 、Al-Si 、Al-Cu 、Al-Si-Cu 、Au 、Pt 、Cu 、Cr 、Ti 、Ta 、Mo 、W 、Pd 、TiN 、TaN 、ZrN 、Cr2N 、AlN 、TiC 、WC 、ITO 、SnO2 、ZnO 、Ru 、Ag-Pd 、Co 、Mn など
金 属 膜 Au 、Ta 、TaN 、Ti 、TiN 、Co 、Cr 、Cu 、Ni 、Ru 、Pd 、Pt 、W 、Al 、 Al-Cu 、Al-Si など

製品ラインアップ⑤

SOIウエハー >>

SOIウエハーSOIウエハーはシリコン(Si)、酸化膜(SiO2)、シリコン(Si)からなる
酸化膜を埋め込んだ3層構造のシリコンウエハーで、
弊社では2~8"において多仕様・高品質基板の加工と供給を実現しております。
活性層の厚みは1μm以上から対応可能で、
各種デバイス開発や研究など多様なシーンにご利用いただけます。
在庫製品についても常時100仕様以上の仕様を取り揃えてございますので、
埋込み酸化膜や抵抗値など多様な仕様でのご提案が可能です。


SOIウエハー製品仕様 / 加工製造対応表
サ イ ズ: inch 2 3 4 5 6 8
活 性 層: Unit 仕 様
製 法: - CZ / FZ
タ イ プ・導 電 型: - P / N / ノンドープ
結 晶 方 位: - <100> / <111> / <110>
ド ー パ ン ト: - B、P、As、Sb
厚 み: μm ≧1.0
*抵 抗 率: Ω・㎝ ≒0.001 ~ 10000
*埋 込 み 酸 化 膜: μm 0.05 ~ 10
支 持 基 板: 仕 様
製 法: - CZ / FZ
タ イ プ・導 電 型: - P / N / ノンドープ
結 晶 方 位: - <100> / <111> / <110>
ド ー パ ン ト: - B、P、As、Sb
*厚 み: μm JEITA・SEMI標準 / ≒200 ~1500
*抵 抗 率: Ω・㎝ ≒0.001 ~ 10000
 備 考: *上記以外の仕様や詳細仕様は別途お問合せ下さい

その他のシリコンウエハー  >>

その他、厚みの薄いウエハーや、特殊ドーパント、ノンドープ品、低抵抗や高抵抗品など、
お客様のご利用シーンやレシピに合わせたウエハーをご提供いたしております。




その他ウエハー製品・実績一例

FZ製法ウエハー  ノンドープウエハー その他のシリコンウエハーイメージ2
・光学研磨ウエハー アズカットウエハー
両面ミラーウエハー エッチドウエハー
パターン付ウエハー 450mmウエハー
太陽電池用ウエハー 細粒シリコン (サイズ:0.5mm) その他のシリコンウエハーイメージ3
・低抵抗ウエハー(0.001Ω・㎝以下) ・高抵抗ウエハー(10000Ω・㎝以上)
薄厚ウエハー (厚み:100μm以下) シリコン板  (厚み:3mm以上)
 

シリコンウエハーに関するお問い合わせ

シリコンウエハーに関するお問合せ・ご相談は総合お問合せページよりお気軽にお問合せ下さい。
各種ウエハーをお求めのお客様や御見積をご希望のお客様は下記フォームからもお問い合わせ頂けます。





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