その他ウエハー販売

サファイアウエハー、ガラスウエハー、SiCウエハーなどその他ウエハーの販売　＞＞

シリコンウエハーに関連するSiCやSOIウエハーのほか、
GaAsウエハーやGaNウエハーをはじめとする化合物ウエハーや、
サファイアウエハー、ガラスウエハーといったシリコン以外の製品もご提供しております。
各種ウエハーのカスタム加工などもお受けしております。

その他ウエハー（サファイアウエハー、ガラスウエハー、SiCウエハーなど）

取扱ウエハー製品紹介

サファイアウエハー GaAsウエハー
ガラスウエハー GaN ウエハー
SiCウエハー SOIウエハー

製品ラインアップ①

サファイアウエハー　＞＞

LED開発や光学パーツ用、各種研究開発用にお使いいただける高純度サファイアウエハーをご提供しております。
Bow、LTV、TIR、Warpを別途ご指定頂くことも可能です。
TTVのより精度の高い製品や、A・R・M面の製品もございます。

サファイアウエハー製品仕様
項 目： Unit 仕 様
サ イ ズ： inch 2 3 4 6
直 径： mm 50.8±0.1 76.2±0.2 100±0.2 150±0.2
結 晶 方 位： - C面（0001） C面（0001） C面（0001） C面（0001）
ウ エ ハ ー 厚 み： μm 430 500 / 550 650 1300
 厚 み 公 差： μm 25 25 25 25
オ リ フ ラ 長 さ： mm 16.0±1.0 22.0±1.0 32.5±2.5 50.0±2.5
オ リ フ ラ 方 位： - A面（11-20） A面（11-20） A面（11-20） A面（11-20）
T T V：  μm ≦10 ≦10 ≦10 ≦10
表 面 仕 上 げ： nm Epi-ready Epi-ready Epi-ready Epi-ready
(Ra≦0.2) (Ra≦0.2) (Ra≦0.2) (Ra≦0.2)
裏 面 仕 上 げ： μm 0.5≦Ra≦1.2 0.5≦Ra≦1.2 0.5≦Ra≦1.2 0.5≦Ra≦1.2
    *上記以外の仕様や詳細仕様については別途お問合せください 





製品ラインアップ②

ガラスウエハー　＞＞

フロートガラス(青板)基板をはじめ、反射防止ガラスや高透過ガラス、
耐熱ガラス、石英ガラスなど多様な基板の販売とガラス基板の加工・製造が可能です。
円形加工せずにご提供させて頂くことも可能です。
12インチ以上の加工/製造や下記以外の仕様についてもお気軽にご相談ください。

ガラスウエハー製造対応表
項 目 仕 様 
サ イ ズ 2"(50mm) ～ 12"(300mm)
直 径 カスタマイズ可能
ウ エ ハ ー 厚 み 0.3mm～50mm*
オ リ フ ラ /ノ ッ チ カスタマイズ可能
面 状 態 アズスライス 片面研磨 両面研磨 光学研磨
T T V - ≦30μm ≦30μm ≦5～10μm
 対 応 ガ ラ ス フロートガラス、高透過ガラス、耐熱ガラス、石英ガラス
反射防止ガラス、低反射ガラス、断熱ガラス、強化ガラス
備 考 *詳細仕様については別途お問合せください 





製品ラインアップ③

SiCウエハー　＞＞

パワー半導体（LSI）やLED用のSiCウエハーをご提供しております。
高精度の仕様を必要としないダミーグレード製品もございます。
SiCウエハーの成膜や薄厚加工、ダイシングも可能です。
6H-半絶縁タイプや下記以外の仕様については別途お問合せ下さい。

4H-N SiCウエハー(LG/DG/RG/PG) 製品仕様
項 目： Unit 仕 様 
サ イ ズ： inch 2 3 4  6
タ イ プ： - 4H-N / 半絶縁 4H-N / 半絶縁 4H-N / 半絶縁  4H-N / 半絶縁
厚 み： μm 350 / 500 350 / 500 350 / 500  350 / 500
結晶方位： ° (0001)±0.2° / (0001)4.0±0.5° off 
抵 抗 率： Ω･㎝ 0.01 ～ 0.05 / N/A 
Mパ イ プ： ㎝-2 ≦1 / ≦5 / ≦10 / ≦15 / ≦50 / N/A 
*1次 オ リ フ ラ： - ○ ○
*2次 オ リ フ ラ： - ○  None
T T V： μm ≦10 / N/A  
 B o w： μm ≦15-40 ≦40
W a r p： μm ≦15-40 ≦60
Si 面 状 態： nm CMP （Ra≦0.5 / N/A）  
C 面 状 態： nm OMP （Ra≦1.0 / N/A）  
備 考：   *詳細仕様については別途お問合せください  





製品ラインアップ④

GaAs(ガリウム砒素)ウエハー　＞＞

実験・研究・開発用途にご利用頂ける3～4インチのウエハーを1枚よりご提供いたしております。
2インチウエハーやその他の仕様につきましては別途お問合せ下さい。

GaAs(ガリ砒素)ウエハー製品仕様
項 目： Unit 仕 様
サ イ ズ： inch 3 3 3 4
製 法：    VGF VGF VGF VGF
直 径： mm 76.0±0.5 76.0±0.5 76.0±0.5 100±0.5
タ イ プ：   P N ノンドープ ノンドープ
ドーパント：   Zn Si - -
結 晶 方 位： - <100> <100> <100> <100>
ウ エ ハ ー 厚 み： μm 450±25 450±25 600±25 625±25
T T V： μm N/A N/A ≦5 ≦5
W a r p： μm N/A N/A ≦7 ≦7
面 状 態： - 片面ミラー 片面ミラー 片面ミラー 両面ミラー
備 考： *詳細仕様については別途お問合せください





製品ラインアップ⑤

SOIウエハー　＞＞

2インチ～8インチの高品質SOIウエハーをご提供いたしております。
12インチ(300mm)や下記以外の仕様につきましてはご相談下さい。
在庫品でご要望の仕様に添えない場合は製造も可能です。

SOIウエハー製品仕様 / 加工製造対応表
サ イ ズ： inch 2 3 4 5 6 8
活 性 層： Unit 仕 様
製 法： - CZ / FZ
タ イ プ・導 電 型： - P / N / ノンドープ
結 晶 方 位： - <100> / <111> / <110>
ド ー パ ン ト： - B、P、As、Sb
厚 み： μm ≧1.0
*抵 抗 率： Ω･㎝ ≒0.001 ～ 10000
埋 込 み 酸 化 膜： μm 0.05 ～ 10
支 持 基 板： 仕 様
製 法： - CZ / FZ
タ イ プ・導 電 型： - P / N / ノンドープ
結 晶 方 位： - <100> / <111> / <110>
ド ー パ ン ト： - B、P、As、Sb
*厚 み： μm JEITA・SEMI標準 / ≒200 ～ 1500
*抵 抗 率： Ω･㎝ ≒0.001 ～ 10000
 備 考： *詳細仕様は別途お問合せ下さい







サファイアやガラスウエハー、SiCウエハーなどに関するお問い合わせ

サファイアやガラスなどのウエハーに関するお問合せ・ご相談は、総合お問合せページよりお問合せ下さい。
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