その他ウエハー販売

サファイアウエハー、ガラスウエハー、SiCウエハーなどその他ウエハーの販売　＞＞

シリコンウエハーに関連するSiCやSOIウエハーのほか、
GaAsウエハーやGaNウエハーをはじめとする化合物ウエハーや、
サファイアウエハー、ガラスウエハーといったシリコン以外の製品もご提供しております。
各種ウエハーのカスタム加工などもお受けしております。

その他ウエハー（サファイアウエハー、ガラスウエハー、SiCウエハーなど）

取扱ウエハー製品紹介

サファイアウエハー GaAsウエハー
ガラスウエハー GaN ウエハー
SiCウエハー SOIウエハー

製品ラインアップ①

サファイアウエハー　＞＞

LED開発や光学パーツ用、各種研究開発用にお使いいただける
高純度サファイアウエハーをご提供しております。
Bow、LTV、TIR、Warpを別途ご指定頂くことも可能です。
TTVのより精度の高い製品や、A・R・M面の製品もございます。

サファイアウエハー製品仕様
項 目： Unit 仕 様
サ イ ズ： inch 2 3 4 6
直 径： mm 50.8±0.1 76.2±0.2 100±0.2 150±0.2
結 晶 方 位： - C面（0001） C面（0001） C面（0001） C面（0001）
ウ エ ハ ー 厚 み： μm 430 500 / 550 650 1300
 厚 み 公 差： μm 25 25 25 25
オ リ フ ラ 長 さ： mm 16.0±1.0 22.0±1.0 32.5±2.5 50.0±2.5
オ リ フ ラ 方 位： - A面（11-20） A面（11-20） A面（11-20） A面（11-20）
T T V：  μm ≦10 ≦10 ≦10 ≦10
表 面 仕 上 げ： nm Epi-ready Epi-ready Epi-ready Epi-ready
(Ra≦0.2) (Ra≦0.2) (Ra≦0.2) (Ra≦0.2)
裏 面 仕 上 げ： μm 0.5≦Ra≦1.2 0.5≦Ra≦1.2 0.5≦Ra≦1.2 0.5≦Ra≦1.2
    *上記以外の仕様や詳細仕様については別途お問合せください 





製品ラインアップ②

ガラスウエハー　＞＞

フロートガラス(青板)基板をはじめ、反射防止ガラスや高透過ガラス、
耐熱ガラス、石英ガラスなど多様な基板の販売と加工・製造が可能です。
円形加工せずにご提供させて頂くことも可能です。
その他直径や厚み、面状態のカスタマイズなどのほか、
12インチ以上の加工や下記以外の仕様についてもお気軽にご相談ください。

ガラスウエハー製造対応表
項 目 仕 様 
サ イ ズ 2"(50mm) ～ 12"(300mm)
直 径 カスタマイズ可能
ウ エ ハ ー 厚 み 0.3mm～50mm*
オ リ フ ラ /ノ ッ チ カスタマイズ可能
面 状 態 アズスライス 片面研磨 両面研磨 光学研磨
T T V - ≦30μm ≦30μm ≦5～10μm
 対 応 ガ ラ ス フロートガラス、高透過ガラス、耐熱ガラス、石英ガラス
反射防止ガラス、低反射ガラス、断熱ガラス、強化ガラス
備 考 *詳細仕様については別途お問合せください 





製品ラインアップ③

SiCウエハー　＞＞

パワー半導体（LSI）やLED用のSiCウエハーをご提供しております。
高精度の仕様を必要としないダミーグレード製品もございます。
SiCウエハーの成膜や薄厚加工、ダイシングも可能です。
6H-半絶縁タイプや下記以外の仕様については別途お問合せ下さい。

4H-N SiCウエハー(LG/DG/RG/PG) 製品仕様
項 目： Unit 仕 様 
サ イ ズ： inch 2 3 4  6
タ イ プ： - 4H-N / 半絶縁 4H-N / 半絶縁 4H-N / 半絶縁  4H-N / 半絶縁
厚 み： μm 350 / 500 350 / 500 350 / 500  350 / 500
結晶方位： ° (0001)±0.2° / (0001)4.0±0.5° off 
抵 抗 率： Ω･㎝ 0.01 ～ 0.05 / N/A 
Mパ イ プ： ㎝-2 ≦1 / ≦5 / ≦10 / ≦15 / ≦50 / N/A 
*1次 オ リ フ ラ： - ○ ○
*2次 オ リ フ ラ： - ○  None
T T V： μm ≦10 / N/A  
 B o w： μm ≦15-40 ≦40
W a r p： μm ≦15-40 ≦60
Si 面 状 態： nm CMP （Ra≦0.5 / N/A）  
C 面 状 態： nm OMP （Ra≦1.0 / N/A）  
備 考：   *詳細仕様については別途お問合せください  





製品ラインアップ④

GaAs(ガリウム砒素)ウエハー　＞＞

実験・研究・開発用途にご利用頂ける3～4インチのウエハーを1枚よりご提供いたしております。
2インチウエハーやその他の仕様につきましては別途お問合せ下さい。

GaAs(ガリ砒素)ウエハー製品仕様
項 目： Unit 仕 様
サ イ ズ： inch 3 3 3 4
製 法：    VGF VGF VGF VGF
直 径： mm 76.0±0.5 76.0±0.5 76.0±0.5 100±0.5
タ イ プ：   P N ノンドープ ノンドープ
ドーパント：   Zn Si - -
結 晶 方 位： - <100> <100> <100> <100>
ウ エ ハ ー 厚 み： μm 450±25 450±25 600±25 625±25
T T V： μm N/A N/A ≦5 ≦5
W a r p： μm N/A N/A ≦7 ≦7
面 状 態： - 片面ミラー 片面ミラー 片面ミラー 両面ミラー
備 考： *詳細仕様については別途お問合せください





製品ラインアップ⑤

SOIウエハー　＞＞

2インチ～8インチの高品質SOIウエハーをご提供いたしております。
12インチ(300mm)や下記以外の仕様につきましてはご相談下さい。
在庫品でご要望の仕様に添えない場合は加工・製造も可能です。

SOIウエハー製品仕様 / 加工製造対応表
サ イ ズ： inch 2 3 4 5 6 8
活 性 層： Unit 仕 様
製 法： - CZ / FZ
タ イ プ・導 電 型： - P / N / ノンドープ
結 晶 方 位： - <100> / <111> / <110>
ド ー パ ン ト： - B、P、As、Sb
厚 み： μm ≧1.0
*抵 抗 率： Ω･㎝ ≒0.001 ～ 10000
埋 込 み 酸 化 膜： μm 0.05 ～ 10
支 持 基 板： 仕 様
製 法： - CZ / FZ
タ イ プ・導 電 型： - P / N / ノンドープ
結 晶 方 位： - <100> / <111> / <110>
ド ー パ ン ト： - B、P、As、Sb
*厚 み： μm JEITA・SEMI標準 / ≒200 ～ 1500
*抵 抗 率： Ω･㎝ ≒0.001 ～ 10000
 備 考： *詳細仕様は別途お問合せ下さい







サファイアやガラスウエハー、SiCウエハーなどに関するお問い合わせ

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