シリコンウエハー製造

シリコンウエハー（Si wafer）の製造　＞＞

2インチ（50mm）から12インチ（300ｍｍ）までのウエハーを、
お客様のご要望やレシピに合わせインゴットからカスタム製造いたします。
タイプ、厚みの設定や製造方法、パーティクルレベル、
抵抗値のご指定など多様なニーズにお応え致します。
標準的な仕様のほか厚みが厚いプレート状のウエハー(厚み≧3㎝)や、
高平坦度ウエハー(TTV≦1μm)、オリフラ無し、面取り無しなどの
特殊な仕様も可能ですのでお気軽にご相談ください。
製造したウエハーに様々な追加工を施してのご提供や、
既存の在庫ウエハーをカスタム加工してご供給させて頂くことも可能です。





　シリコンインゴット⇒シリコンウエハー製造プロセス⇒シリコンウエハー（Si wafer）製造イメージ

ウエハー製造対応表

シリコンウエハー製造　＞＞

シリコンウエハー製造装置下記対応表をご参考下さい。（○ = ご指定頂ける仕様です）
直径サイズの細かなご指定も0.1mm単位で可能です。
表に記載されていない仕様についてもお気軽にご相談下さい。

シリコンウエハー製造対応表
項 目 ：  仕 様
サ イ ズ ： 2 3 4 5 6 8 12 18
製 法 : FZ　/　CZ ご相談
タ イ プ ・ 導 電 型 : P　/　N　/　ノンドープ
ド ー パ ン ト : ○
結 晶 方 位 : <100>　/　<111>　/　<110>
厚 み : ○
抵 抗 : ○
オ リ フ ラ : ○ ノッチ
オ リ フ ラ 長 さ : ○ -
オ リ フ ラ 方 位 : ○ -
パ ー テ ィ ク ル : ○
B o w : ○
T T V : ○
炭 素 濃 度 : ○
酸 素 濃 度 : ○
各 種 成 膜 : ○
面 状 態 : ○
梱 包 形 態 : ○
数 量 : 仕様により別途ご相談
 成膜対応表
絶 縁 膜 SiO2 、SiN 、PSG 、BPSG 、P-TEOS 、HDP-SiO2 、O3-TEOS 、SiON 、SiOC 、MSQ 、HSQ 、BN 、CoralTM 、PZT 、HfO2 、TiO2 、Ta2O5 、ZnO2 、Al2O3 、Fe2O3 、MgO 、Mn2O3　など
導 電 膜 Al 、Al-Si 、Al-Cu 、Al-Si-Cu 、Au 、Pt 、Cu 、Cr 、Ti 、Ta 、Mo 、W 、Pd 、TiN 、TaN 、ZrN 、Cr2N 、AlN 、TiC 、WC 、ITO 、SnO2 、ZnO 、Ru 、Ag-Pd 、Co 、Mn　など
金 属 膜 Au 、Ta 、TaN 、Ti 、TiN 、Co 、Cr 、Cu 、Ni 、Ru 、Pd 、Pt 、W 、Al 、 Al-Cu 、Al-Si　など

Wafers 製造実績一例

ご要望されるウエハーの仕様に適したインゴットを確認し、在庫があれば迅速に納品させていただきます。
在庫が確認できない場合でもグローバルネットワークでインゴットを調査し、
インゴットの手配からご対応いたします。
製造から納品までは仕様やご依頼頂く数量にもよりますが、通常2～4週間程度を頂いております。

製造実績一例①

2インチ片面ミラーウエハー　＞＞　

＊ 主仕様：Nタイプ低抵抗品
＊ 受注から納品までの時間：約2～3週間
項 目 ： 仕 様
仕 様 / サ イ ズ ： 2インチ
製 法 : CZ
タ イ プ ・ 導 電 型 : N
ド ー パ ン ト : As
結 晶 方 位 : <111>
厚 み : 400±25μm
抵 抗 : 0.001Ω･cm以下
オ リ フ ラ : 有り
オ リ フ ラ 長 さ : 17.5±2.5mm
オ リ フ ラ 方 位 : （110）±1.0°
パ ー テ ィ ク ル : ≧0.3μm ≦10ea
B o w : -
T T V : ≦5μm
炭 素 濃 度 : -
酸 素 濃 度 : -
各 種 成 膜 : 無し
面 状 態 : 片面ミラー
梱 包 形 態 : アルミラミネート
数 量 : 100枚

製造実績一例②

4インチ片面ミラーウエハー　＞＞

＊ 主仕様：Pタイプ高抵抗品
＊ 受注から納品までの時間：約3～4週間
項 目 ： 仕 様
仕 様 / サ イ ズ ： ４インチ
製 法 : FZ
タ イ プ ・ 導 電 型 : P
ド ー パ ン ト : Boron
結 晶 方 位 : <100>
厚 み : 525±25μm
抵 抗 : 5000Ω･cm以上
オ リ フ ラ : 有り
オ リ フ ラ 長 さ : 32.5±2.5mm
オ リ フ ラ 方 位 : （110）±1.0°
パ ー テ ィ ク ル : ≧0.2μm ≦30ea
B o w : -
T T V : -
炭 素 濃 度 : -
酸 素 濃 度 : -
各 種 成 膜 : 無し
面 状 態 : 片面ミラー
梱 包 形 態 : アルミラミネート
数 量 : 50枚

製造実績一例③

6インチ両面ミラーウエハー　＞＞

＊ 主仕様：Pタイプ両面研磨SiO2成膜品
＊ 受注から納品までの時間：約4～5週間
 項 目 ：  仕 様
仕 様 / サ イ ズ ： 6インチ
製 法 : CZ
タ イ プ ・ 導 電 型 : P
ド ー パ ン ト : Boron
結 晶 方 位 : <100>
厚 み : 625±25μm
抵 抗 : 1-100Ω･cm
オ リ フ ラ : 有り
オ リ フ ラ 長 さ : 47.5±2.5mm
オ リ フ ラ 方 位 : -
パ ー テ ィ ク ル : 0.3μm以上10個以下
B o w : -
T T V : -
炭 素 濃 度 : -
酸 素 濃 度 : -
各 種 成 膜 : SiO2 = 5000A±10%
面 状 態 : 両面ミラー
梱 包 形 態 : ラミネート
数 量 : 25枚

製造実績一例④

8インチアズスライスウエハー　＞＞

＊ 主仕様：Pタイプ研磨無しプレート品
＊ 受注から納品までの時間：約2～3週間
項 目 ：  仕 様
仕 様 / サ イ ズ ： 8インチ
製 法 : CZ
タ イ プ ・ 導 電 型 : P
ド ー パ ン ト : Boron
結 晶 方 位 : <100>
厚 み : 2000±15μm
抵 抗 : -
オ リ フ ラ : ノッチ仕様
オ リ フ ラ 長 さ : -
オ リ フ ラ 方 位 : -
パ ー テ ィ ク ル : -
B o w : -
T T V : -
炭 素 濃 度 : -
酸 素 濃 度 : -
各 種 成 膜 : -
面 状 態 : アズスライス
梱 包 形 態 : コインロール
数 量 : 25枚

シリコンウエハーの製造に関するお問い合わせ

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