シリコンウエハー販売

シリコンウエハー（Si wafer）販売　＞＞

2インチ（50mm）から12インチ（300mm）までの各種モニターウエハー、ダミーウエハーを
お客様のご利用用途やご要望に合わせてご提供いたします。
自社PB及び協力工場製品と国内大手メーカー製品の充実の製品で、
スタンダード品から低コスト・特殊仕様品まで
各ユーザー様のご利用目的やプランニングに最適なウエハーをご提供させて頂きます。
汎用品のほかSOIウエハー・成膜ウエハーやその他の特殊ウエハーも、
在庫製品の販売とBTOによるカスタム製造で、
ご要望に合わせた確かな品質のウエハーの供給を実現いたします。

シリコンウエハー（Si wafer）　シリコンウエハー（Siウエハー）　シリコンウエハー（S.E.H）

シリコンウエハー製品紹介

シリコンウエハー　スタンダード品（JEITA仕様） 成膜ウエハー（膜付加工品）
シリコンウエハー　スタンダード品（SEMI 仕様） SOIウエハー
シリコンウエハー（ダミーグレード品） その他のウエハー製品・実績一例（薄厚、特殊品など）


※参考イメージのため実際の製品とは一部異なります

製品ラインアップ①

　　シリコンウエハー（JEITA規格スタンダード製品）　＞＞

シリコンウエハー（Si wafer_Jeita_Std）様々な用途にご利用いただけるパーティクル管理された
JEITA規格準拠のシリコンウエハー(Si wafer)です。
開発や実験・研究、パーティクルチェックや測定検査など、
幅広くご使用頂いている汎用製品です。
TTVやパーティクルレベルがよりハイグレードの製品や、
厚みや抵抗値が規格外の製品、SEMI規格に準拠した製品もございます。

シリコンウエハー外観参考図（クリックで拡大）
ウエハー外観（ウエハー外形参考図）
製品仕様（JEITA スタンダード仕様）
項 目： Unit 仕 様
サ イ ズ： inch 2 3 4 5 6 8 12
タ イ プ： - P or N
*1結 晶 方 位： - <100> / <111> / <110>
厚 み： μm 280 380 525 625 625 725 775
厚 み 公 差： μm 20 20 25 25 25 25 25
抵 抗 値： Ω･㎝ 1-30 / 1-50 / 1-100
*2オ リ フ ラ： - ○ ○ ○ ○ ○ ノッチ ノッチ
パ ー テ ィ ク ル： Lv ≧0.3μm≦10ea　/　≧0.3μm≦30ea　/　≧0.2μm≦30ea　/　≧0.2μm≦50ea
面 状 態： - 片面ミラー 両面ミラー
*3数 量： lot 25枚
梱 包 形 態： - ラミネート
　
備 考： *1 : <110>は別途お問合せください.
*2 : 8インチはオリフラ/ノッチいずれも対応可能です.
*3 : ロット状況により5枚や10枚など端数Lotでのご注文もお受けしております.
** : 詳細仕様や在庫状況はこちらでご確認頂けます.　⇒　在庫状況確認

製品ラインアップ②

シリコンウエハー（SEMI規格スタンダード製品）　＞＞

シリコンウエハー（si wafer_Semi_Std）様々な用途にご利用いただけるパーティクル管理されたSEMI規格準拠の
高品質シリコンウエハー(Si wafer)です。*
おもにSEMI規格品をご要望のお客様向けの製品です。
シリコンウエハーSEMI/JEITA規格表はこちら

シリコンウエハー外観参考図（クリックで拡大）
ウエハー外観（ウエハー外形参考図）
製品仕様（SEMI準拠仕様）
項 目： Unit 仕 様
サ イ ズ： inch 2 3 4 6
タ イ プ： - P or N
結 晶 方 位： - <100>
厚 み： μm 280 380 525 675
厚 み 公 差： μm 20 20 25 25
抵 抗 値： Ω･㎝ 1-100
オ リ フ ラ： mm 15.8±2.5 22.0±2.5 32.5±2.5 57.5±2.5
パ ー テ ィ ク ル： Lv ≧0.3μm≦10ea / ≧0.5μm ≦10ea
面 状 態： - 片面ミラー
*1数 量： lot 25枚
梱 包 形 態： - ラミネート
　
備 考： *1: ロット状況により5枚や10枚など端数Lotでのご注文もお受けしております.
    **: 詳細仕様や在庫状況はこちらでご確認頂けます.　⇒　在庫状況確認

製品ラインアップ③

シリコンウエハー（ダミーグレード製品） ＞＞

ダミーウエハーパーティクル管理されていない安価なシリコンウエハーです。
主に半導体製造装置の搬送テストやメカニカル評価、
ダイシングなどの加工評価用にご利用頂けます。
在庫状況にかかわらず小ロット(5枚～)でのご提供が可能です。
厚みなどを不問としたさらにコストを抑えた製品もございます。
ダミーウエハー製品仕様
項 目： Unit 仕 様
サ イ ズ： inch 2 3 4 5 6 8 12
タ イ プ： - P or N
結 晶 方 位： - <100> / <111> / 不問
厚 み： μm 280 380 525 625 625 725 775
厚 み 公 差： μm 20 20 25 25 25 25 25
抵 抗 値： Ω･㎝ -
*1オ リ フ ラ： - ○ ○ ○ ○ ○ ノッチ ノッチ
パ ー テ ィ ク ル： Lv -
面 状 態： - 片面ミラー 両面ミラー
*2数 量： lot 25枚
*3梱 包 形 態： - コインロール（重ね合わせ）またはケース
　
備 考：    *1 : 8インチはオリフラ/ノッチいずれも対応可能です.
*2 : 5枚や10枚など端数Lotでのご注文もお受けしております.
*3 : ケースをご要望のお客様は別途お申し付けください.
** : 在庫状況はこちらでご確認頂けます.　⇒　在庫状況確認

製品ラインアップ④

成膜（膜付）ウエハー　＞＞

成膜ウエハー通常のシリコンウエハー上に成膜加工されたウエハーです。
熱酸化膜(SiO2)をはじめとする絶縁膜から、
Al・Mnなどの導電膜やCu・Niなどの金属、メッキ膜製品もございます。
単層膜・複層膜のご指定や、成膜方法をご指定頂くことも可能です。
新規製造やウエハーをお預かりしての加工もお受けしております。
成膜ウエハー製品仕様 / 加工製造対応表
項 目： Unit 仕 様
サ イ ズ： inch 2 3 4 5 6 8 12
タ イ プ： - P or N
結 晶 方 位： - <100> / <111> / <110>
*1厚 み： μm 280 380 525 625 625 725 775
厚 み 公 差： μm 20 20 25 25 25 25 25
抵 抗 値： Ω･㎝ ≒0.001-10000
オ リ フ ラ： - ○ ○ ○ ○ ○ ノッチ ノッチ
パ ー テ ィ ク ル： Lv ≧0.3μm≦10ea　/　≧0.2μm≦20ea　/　≧0.2μm≦50ea
面 状 態： - 片面ミラー / 両面ミラー 両面ミラー
成 膜 方 法： -  Thermal　/　Spatter　/　CVD　/　PE-CVD　/　LP-CVD　/　EP
 膜 種： - 各 種
*2膜 厚： A 1000-10000
*3数 量： lot 25枚
梱 包 形 態： - ラミネート
　
備 考： *1 : 上記(標準厚)以外の厚みについては別途ご相談ください.
*2 : 膜種により上記以外の厚みも可能です. 
*3 : ロット状況により5枚や10枚など端数Lotでのご注文もお受けしております.
 成膜対応表（新規製造品を含みます） 
絶 縁 膜 SiO2 、SiN 、PSG 、BPSG 、P-TEOS 、HDP-SiO2 、O3-TEOS 、SiON 、SiOC 、MSQ 、HSQ 、BN 、CoralTM 、BD-TM 、HfO2 、TiO2 、Ta2O5 、ZnO2 、Al2O3 、Fe2O3 、MgO 、Mn2O3　など
導 電 膜 Al 、Al-Si 、Al-Cu 、Al-Si-Cu 、Au 、Pt 、Cu 、Cr 、Ti 、Ta 、Mo 、W 、Pd 、TiN 、TaN 、ZrN 、Cr2N 、AlN 、TiC 、WC 、ITO 、SnO2 、ZnO 、Ru 、Ag-Pd 、Co 、Mn　など
金 属 膜 Au 、Ta 、TaN 、Ti 、TiN 、Co 、Cr 、Cu 、Ni 、Ru 、Pd 、Pt 、W 、Al 、 Al-Cu 、Al-Si　など

製品ラインアップ⑤

SOIウエハー　＞＞

SOIウエハーSOIウエハーはシリコン(Si)、酸化膜(SiO2)、シリコン(Si)からなる
酸化膜を埋め込んだ3層構造のシリコンウエハーで、
弊社では2～8"において多仕様・高品質基板の加工と供給を実現しております。
活性層の厚みは1μm以上から対応可能で、
各種デバイス開発や研究など多様なシーンにご利用頂いております。
在庫製品についても多様な仕様を取り揃えてございますので、
埋込み酸化膜や抵抗値などご要望に合わせたご提案が可能です。
SOIウエハー製品仕様 / 加工製造対応表
サ イ ズ： inch 2 3 4 5 6 8
活 性 層： Unit 仕 様
製 法： - CZ / FZ
タ イ プ・導 電 型： - P / N / ノンドープ
結 晶 方 位： - <100> / <111> / <110>
ド ー パ ン ト： - B、P、As、Sb
厚 み： μm ≧1.0
*抵 抗 率： Ω･㎝ ≒0.001 ～ 10000
*埋 込 み 酸 化 膜： μm 0.01～ 10
支 持 基 板： 仕 様
製 法： - CZ / FZ
タ イ プ・導 電 型： - P / N / ノンドープ
結 晶 方 位： - <100> / <111> / <110>
ド ー パ ン ト： - B、P、As、Sb
*厚 み： μm JEITA・SEMI標準 / ≒200 ～1500
*抵 抗 率： Ω･㎝ ≒0.001 ～ 10000
 備 考： *上記以外の仕様や詳細仕様は別途お問合せ下さい

その他のシリコンウエハー 　＞＞

その他、厚みの薄いウエハーや、特殊ドーパント、ノンドープ品、低抵抗や高抵抗品など、
お客様のご利用シーンやレシピに合わせたウエハーをご提供いたしております。


その他ウエハー製品・実績一例

・FZ製法ウエハー  ・ノンドープウエハー その他のシリコンウエハーイメージ2
・光学研磨ウエハー ・アズカットウエハー
・両面ミラーウエハー ・エッチドウエハー
・パターン付ウエハー ・450mmウエハー
・太陽電池用ウエハー ・細粒シリコン　（サイズ：0.5mm） その他のシリコンウエハーイメージ3
・低抵抗ウエハー（0.001Ω･㎝以下） ・高抵抗ウエハー（10000Ω･㎝以上）
・薄厚ウエハー　（厚み：100μm以下） ・シリコン板　　（厚み：3mm以上）
 

シリコンウエハーに関するお問い合わせ

シリコンウエハーに関するお問合せ・ご相談は総合お問合せページよりお気軽にお問合せ下さい。
各種ウエハーをお求めのお客様や御見積をご希望のお客様は下記フォームからもお問い合わせ頂けます。





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